臭氧是一种氧化性极强的不稳定气体，臭氧输出浓度受多种因素的影响，其中腔体温度是极重要的因素;臭氧在30度左右时会在1分钟内衰减一半。在40~50℃时衰减达到80%。超过60℃臭氧会马上分解。

空气（富氧空气或氧气）的湿度、温度、流量、压力、发生器功率等条件都会导致臭氧浓度和产率的变化，如气体含水量（或露点）会明显影响臭氧浓度和产率。严重时根本不产生臭氧，还会导致臭氧发生器设备损坏，放电室温度越高，臭氧分解越快，臭氧浓度就越低，应该加强放电室的冷却效果。在通常放电气压小于0.08mpa的条件下，气压越高，臭氧浓度就越低，为使臭氧气体能够较好的溶解于水又保证一定的气压，气流量越大，臭氧浓度就越低，发生器功率越大，臭氧浓度越高。因此为使臭氧气体的浓度和产量相对稳定，应该保持上述条件。